探針臺，是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備，也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì)、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測試環(huán)境下，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀，深受工程師們的青睞。

探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機(jī)、探針臺和分選機(jī)。在所有的測試環(huán)節(jié)中都會用到測試機(jī)，不同環(huán)節(jié)中測試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺配合使用。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺，它的諸多設(shè)計(jì)都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。

錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

可選附件：

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCD或C-MOS視頻成像裝置

t Chuck運(yùn)動裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭

t 靜音真空泵

探針臺的維護(hù)和保養(yǎng)：

1.避免碰撞：在安裝，操作探針臺時應(yīng)避免碰撞，機(jī)體放置需平坦，不可傾斜或橫倒，避免機(jī)器發(fā)生故障或異常異音。

2.儀器的運(yùn)輸：儀器運(yùn)輸時，請先拔掉電源線插頭。

儀器運(yùn)輸應(yīng)使用專門的包裝箱，避免碰到探針臺的任何運(yùn)動部件。

3.儀器的存放

使用完后需要注意保持清潔，盡量把灰塵吹干盡，以免灰塵將機(jī)械精密部件，光學(xué)部件，電學(xué)接觸面污染，導(dǎo)致儀器精度降低。

探針臺機(jī)體清潔時，避免直接潑水清理，以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機(jī)器，以免發(fā)生故障或危險。

探針臺光學(xué)部件清潔時，可用鏡頭紙蘸*從中間向外輕輕的擦拭。*時易燃物，注意使用安全。

停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護(hù)機(jī)器壽命。

操作人員必須嚴(yán)格按要**作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。

4.工作環(huán)境

探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上，最好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。